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आई. एम. ई. सी. बड़े पैमाने पर ई. यू. वी. लिथोग्राफी का उपयोग करके अल्ट्रा-स्मॉल, यूनिफॉर्म नैनोपोर का उत्पादन करता है, जो जीनोमिक्स और दवा के लिए बायोसेंसर को आगे बढ़ाता है।
आई. एम. ई. सी. ने 300 एम. एम. सिलिकॉन वेफर्स पर ई. यू. वी. लिथोग्राफी का उपयोग करके सॉलिड-स्टेट नैनोपोर्स का पहला वेफर-स्केल उत्पादन हासिल किया है, जिससे 5एन. एम. से कम आकार के लिए क्षमता के साथ 10 नैनोमीटर के रूप में छोटे अत्यधिक समान नैनोपोर्स का बड़े पैमाने पर उत्पादन किया जा सकता है।
सी. एम. ओ. एस.-संगत प्रक्रिया पिछली मापनीयता और परिवर्तनशीलता चुनौतियों पर काबू पाती है, जिससे संकेत-से-शोर अनुपात 6.2 प्राप्त होता है, जो आणविक स्थानान्तरण का पता लगाने के लिए मजबूत प्रदर्शन का संकेत देता है।
यह सफलता जीनोमिक्स, डायग्नोस्टिक्स, व्यक्तिगत चिकित्सा और आणविक डेटा भंडारण में अनुप्रयोगों के साथ उच्च-थ्रूपुट बायोसेंसर सरणी का मार्ग प्रशस्त करती है, जिससे नैनोपोर प्रौद्योगिकी को प्रयोगशाला अनुसंधान से व्यावहारिक, बड़े पैमाने पर उपयोग में बदला जा सकता है।
Imec mass-produces ultra-small, uniform nanopores using EUV lithography, advancing biosensors for genomics and medicine.